工業(yè)超純水工程方案
一、進(jìn)水參數(shù)
　　 源水：城市自來水、地下水（需要檢測(cè)水樣）、進(jìn)水壓力＞0.3MPa，進(jìn)水電導(dǎo)率＜800us/cm；進(jìn)水電導(dǎo)率＞800us/cm時(shí)，建議使用雙級(jí)反滲透。
　　 1、設(shè)計(jì)參數(shù)：100升/天到50噸每天
　　 2、出水標(biāo)準(zhǔn)：*或二級(jí)電子用超純水標(biāo)準(zhǔn)
二、工藝流程
采用反滲透加去離子方法：源水箱→源水增壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性碳過濾器→陽樹脂軟化器→精密過濾器→一級(jí)RO反滲透純水系統(tǒng)→中間水箱→增壓泵→一級(jí)混床→二級(jí)精混床→微濾器→用水點(diǎn)
采用去離子方法：源水箱→源水增壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性碳過濾器→陽樹脂軟化器→精密過濾器→陽床→陰床→混床→用水點(diǎn)
采用反滲透加電去離子方法：源水箱→源水增壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性碳過濾器→陽樹脂軟化器→精密過濾器→一級(jí)RO反滲透純水系統(tǒng)→中間水箱→增壓泵→電去離子裝置（EDI）→微濾器→用水點(diǎn)